射頻電源是等離子體配套電源，它是由射頻功率源、阻抗匹配器、阻抗功率計(jì)組成，是八十年代末期中國(guó)新興的高科技領(lǐng)域，被廣泛的應(yīng)用于射頻濺出，PECCD化學(xué)氣相沉積，反應(yīng)離子刻蝕等等設(shè)備中。SEREN射頻電源被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、美容等等領(lǐng)域。那么SEREN射頻電源維修具體維修方法有哪些呢？
想要更好的進(jìn)行SEREN射頻電源維修就要深入的了解射頻功率源相關(guān)的技術(shù)知識(shí)。首先要了解其主要技術(shù)性能射頻源，有板極電壓2001500V連續(xù)可調(diào)；板極電流小于等于0.36A；板極直流消耗功率小于等于0.58KW；輸出功率6500W連續(xù)可調(diào)；頻率13.56MHZ匹配箱有阻抗、手動(dòng)調(diào)節(jié)網(wǎng)絡(luò)參數(shù)以匹配。
其次就是對(duì)于SEREN射頻電源維修幾種故障的判斷，1.在正常的工作時(shí)如果說發(fā)生跳閘現(xiàn)象，則說明直流電的部分出現(xiàn)了故障；2.其中的UA突然變大會(huì)極有可能導(dǎo)致電子管的損壞，而有UA無LA時(shí)候是驅(qū)動(dòng)板有故障或者是高頻插頭接觸不良。SEREN射頻電源維修這種維修方法，UA接線斷、表頭上有UA而電子管上面沒有；3.有UA\LA小無PF\PR。導(dǎo)致這些現(xiàn)象原因是連接射頻源和匹配器或者功率計(jì)的電纜插頭與插座接觸不良或者根本沒有接觸上，SEREN射頻電源維修用鉗子或者鑷子將插座芯向里面挾一下，再用酒精棉球?qū)⒉孱^擦干凈再插上。UALA較小有PF\PR但是較大調(diào)不下來不起輝。原因是匹配器輸出電纜插頭座之間接觸不良，SEREN射頻電源維修解決辦法同樣是使用鉗子或者是鑷子來向里面挾一下。4.UALA很大，原因是UGL無激勵(lì)。5.射頻功率源以及其它儀表的安裝，射頻功率源通常用于和等離子設(shè)備配套該設(shè)備除了主機(jī)以及射頻源以外還有其它的真空儀表，若是安裝不合理射頻源會(huì)干擾。
看到以上的關(guān)于SEREN射頻電源維修具體的維修方法大家是否覺得還是很簡(jiǎn)單的呢？其實(shí)SEREN射頻電源維修找出來故障的原因才是困難的，作為操作者一定要記住，當(dāng)射頻電源發(fā)生故障的時(shí)候千萬不要自己上手去維修，因?yàn)槠渲械脑际呛苄◇w積的，很容易弄丟，且錯(cuò)誤的維修會(huì)導(dǎo)致更大的故障，因此操作者一定要記住打電話叫凌科自動(dòng)化工程師上門維修。此外，在打電話的時(shí)候一定要說清楚射頻電源的故障現(xiàn)象，以便于維修人員更好的判斷故障，帶上合適的維修工具。
